Процессы и оборудование микротехнологии  Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7



Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7



Цена: 1149 руб.RUB


Узнать подробности предложения

Категория: Научно-популярная литература, Технические науки, Радиоэлектроника
Производитель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Артикул: 978-5-70-384864-7
Модель:

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Магазин: Буквоед

ISBN: 978-5-70-384864-7
Объем: 122
Автор: Цветков Ю.
Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 2018
Код номенклатуры: ORS375640018748588
Электронная: Нет
noСкидка: no

Процессы и оборудование микротехнологии  Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7Процессы и оборудование микротехнологии  Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7


Комментарии, уточнения, отзывы о Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7: