![Крупное изображение Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7 Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7](/image/3063/267113728_0.jpg)
Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7
Цена: 1149 руб.
Категория: Научно-популярная литература, Технические науки, Радиоэлектроника
Производитель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Артикул: 978-5-70-384864-7
Модель:
Узнать подробности предложения
Категория: Научно-популярная литература, Технические науки, Радиоэлектроника
Производитель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Артикул: 978-5-70-384864-7
Модель:
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Магазин: Буквоед
ISBN: 978-5-70-384864-7
Объем: 122
Автор: Цветков Ю.
Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 2018
Код номенклатуры: ORS375640018748588
Электронная: Нет
noСкидка: no
![Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7 Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7](/image/3063/267113728_1.jpg)
![Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7 Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 2 МГТУ им Н Э Баумана 978 5 70 384864 7](/image/3063/267113728_2.jpg)
![](/img/ico/coupon.png)
Четверг для чтения
Дата окончания: 04 июля
Отдыхать на отлично
Дата окончания: 05 июля
Свежий взгляд на расследования
Дата окончания: 05 июля
![](/img/ico/chat.png)
![](/img/ico/goods.png)