МОС гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники Техносфера 978 5 94836 521 3

В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэ- лектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.

Магазин: My-shop.ru

Штрих-код: 9785948365213
Цвет: Белый
ISBN: 978-5-94836-521-3
Объем: 488
Ширина: 170 мм
Длина: 240 мм
Высота: 25 мм
Серия: Мир материалов и технологий
Автор: Акчурин Р. Х., Мармалюк А. А.
Год: 2020
Вес: 754 г
Группа: Книги
Обложка: твердый переплёт
vat: VAT_10